- Interfaccia di front-end EFEM Collega il sistema di trasporto dei materiali della fabbrica e l'ambiente di trasferimento interno dell'apparecchiatura di processo per un trasferimento standardizzato dei wafer.
- Design compatibile SEMI Presentato come un sistema di interfaccia compatibile con gli standard SEMI per la comunicazione e l'integrazione delle apparecchiature.
- Robot di trasferimento a doppio braccio Un robot a doppio braccio con un asse esterno assicura un movimento dei wafer ad alta efficienza al front-end dell'apparecchiatura.
- Ingombro compatto L'architettura a ingombro ridotto si adatta ai front-end di apparecchiature di fab con spazio limitato.
- Coordinamento del trasporto flessibile Sposta i wafer manualmente o in coordinamento con il trasporto di fabbrica, come i sistemi aerei.
- Controllo della contaminazione Supporta trasferimenti di wafer ripetibili riducendo al contempo il contatto dell'operatore con i substrati critici.
Descrizione
Il SIASUN TSS-3000 è un EFEM (Equipment Front End Module) per la produzione di semiconduttori, che funge da interfaccia controllata tra il sistema di trasporto dei materiali di una fab e l'ambiente di trasferimento interno di un'apparecchiatura di processo. Coordina il caricamento, l'allineamento e il trasferimento dei wafer, contribuendo al contempo al controllo della contaminazione e a una comunicazione delle apparecchiature standardizzata e compatibile SEMI.
Progettato con un ingombro ridotto, il TSS-3000 utilizza un robot di trasferimento a doppio braccio con un asse esterno per spostare i wafer manualmente o in coordinamento con il trasporto di fabbrica, come i sistemi aerei, supportando una movimentazione dei wafer ad alta efficienza e ripetibile al front-end dell'apparecchiatura. È adatto ad ambienti di fab per wafer in camera bianca in cui sono richieste interfacce standardizzate e un contatto ridotto dell'operatore con i substrati critici. Contattaci per prezzi e disponibilità.
Caratteristiche
Specifiche
| Marca | SIASUN |
|---|---|
| Modello | TSS-3000 |
| Tipo di robot | EFEM (Equipment Front End Module) / sistema di trasferimento wafer di front-end |
| Interfaccia | Interfaccia di front-end compatibile SEMI |
| Robot di trasferimento | Robot a doppio braccio con un asse esterno |
| Ingombro | Compatto / ingombro ridotto |
| Funzionamento | Manuale o coordinato con il trasporto di fabbrica (es. sistemi aerei) |
| Applicazioni tipiche | Movimentazione al front-end di fab per wafer, caricamento e allineamento/trasferimento dei wafer |
Settori industriali
Domande frequenti
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È un robot a portale cartesiano per la movimentazione ripetibile dei materiali, il più delle volte per carico e scarico di macchine CNC, trasferimenti tra operazioni e linee di automazione di processo in officina.
Sì. Grazie all'ampio volume di lavoro e alla lunghezza delle guide scalabile, un solo robot a portale può servire più macchine CNC o postazioni di lavoro, riducendo il numero di dispositivi di movimentazione autonomi.
La sua interfaccia accetta pinze pneumatiche o servo, ventose, pinze magnetiche e cambi utensile, quindi può essere configurato per la movimentazione dei pezzi, superfici piane o ferrose e celle multi-operazione.
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Robot per la movimentazione di wafer SIASUN TSS-3000 EFEM
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