- Pressione atmosferica
- Moduli front-end
- Carica porte/allineatori
- Stazioni di controllo
- Precisione compatta
- Integrazione EFEM
Descrizione
Il manipolatore atmosferico SIASUN Blade-D156 sposta i wafer (o substrati simili ai wafer) tra moduli front-end, porte di carico, allineatori, stazioni di ispezione e interfacce con gli strumenti di processo a pressione ambiente.
Si presenta come una piattaforma di trasferimento compatta e di precisione, spesso integrata in un EFEM o in una cella integrata di movimentazione dei materiali.
Il Blade-D156 è destinato ad applicazioni nel settore dei semiconduttori, dell’ispezione e della movimentazione atmosferica industriale.
Contattateci per informazioni su prezzi e disponibilità.
Caratteristiche
Specifiche
| Modello | Blade-D156 |
|---|---|
| Tipo di robot | Manipolatore atmosferico |
| Destinazione d'uso | EFEM, gestione front-end |
| Marca | SIASUN |
Settori industriali
Domande frequenti
Contattaci per prezzo aggiornato, disponibilità e un preventivo personalizzato per Pala del manipolatore atmosferico SIASUN D156.
Il SIASUN Blade-D156 è un manipolatore atmosferico compatto destinato all’integrazione di moduli EFEM e front-end. Trasferimento di precisione dei wafer presso porte di carico, allineatori e stazioni di ispezione.
Pala del manipolatore atmosferico SIASUN D156 è particolarmente adatto ad applicazioni nei settori Industriale.
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