{"product_id":"siasun-vacuum-robot-phoenix","title":"SIASUN Vakuumroboter Phoenix","description":"\u003cp\u003eDer SIASUN Vacuum Robot Phoenix ist ein Vakuum-Transferroboter für die Halbleiter- und Reinraumfertigung, entwickelt, um Wafer und andere empfindliche Substrate zwischen Ladeschleusen, Transferkammern und Prozessmodulen wie Abscheidungs-, Ätz- und Messstationen zu bewegen, ohne die kontrollierte Umgebung zu unterbrechen. Seine Bewegung ist auf einen stabilen, gleichmäßigen Transfer unter Vakuumbedingungen abgestimmt, wo geringe Partikelerzeugung, kontrolliertes Ausgasen und Schwingungskontrolle entscheidend für den Schutz hochwertiger Substrate sind.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eDer Phoenix nutzt eine Direktantriebsarchitektur, die die Abhängigkeit von Getrieben und Riemen verringert und so Spiel und mechanische Verschleißstellen für eine gleichmäßigere, wiederholgenauere Bewegung reduziert. Als integrationsbereite Plattform mit Motion-Controller und I\/O-Schnittstellen geliefert, eignet er sich für Halbleiter-, Reinraum- und industrielle Vakuumhandhabungsanwendungen, bei denen Wiederholgenauigkeit, Durchsatz und Kontaminationskontrolle zählen. Kontaktieren Sie uns für detaillierte Spezifikationen, Preise und Verfügbarkeit.\u003c\/p\u003e","brand":"SIASUN","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":49736052670701,"sku":"SIASUN-Vacuum-Robot-PHOENIX-S25-Series","price":0.0,"currency_code":"CHF","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0803\/2613\/1949\/files\/siasun-logo_1_37_8996a892-bed7-4379-b504-5fcc9deed3db.jpg?v=1774885288","url":"https:\/\/robotixmarket.ch\/products\/siasun-vacuum-robot-phoenix","provider":"Robotix Market","version":"1.0","type":"link"}